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噴膠機(jī) ASPAPRAY
| 設(shè)備配置 | 2-4 chamber（option: COT、DEV） |
| 設(shè)備產(chǎn)能 | 20WPH |
| 襯底材質(zhì) | Si、Glass等 |
| 適用工藝 | 深孔噴膠TSV、高深寬比臺(tái)階噴膠. |
| 工藝指標(biāo) | 平面均勻性≤5%@5-10um；臺(tái)階覆蓋率≥30% |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 先進(jìn)封裝、MEMS、科研等 |
| 技術(shù)特征 | ?適用于表面刻有深孔的高表面形貌圓形或方形基片的噴涂工藝要求，超聲波霧化光刻膠膠粒，可均勻覆蓋臺(tái)階表面，邊緣，側(cè)壁，底部； ?噴嘴配有自動(dòng)清洗功能； ?設(shè)備可配置勻膠腔體和顯影腔體。 |
| 設(shè)備尺寸 | 2665*1724*2432mm（W*D*H） |