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晶圓顯微鏡	型號(hào)		AWL046	AWL068
	晶圓尺寸（SEMI規(guī)格）		150mm/125mm/100mm	200mm/150mm
	晶圓最小厚度		150um	180um
	片盒類型		開放式片盒（SEMI Stad.25「26」-slot
	片盒數(shù)量		1Pot
	檢查模式設(shè)置		全檢/奇數(shù)檢/偶數(shù)檢/手動(dòng)選擇
	片盒內(nèi)晶圓掃描		●	●
	晶圓預(yù)定位		●	●
	晶圓定位		非接觸式定位平面N型槽，支持0°、90°、180°、270°、朝前設(shè)置
	檢查功能	微觀檢查	●	●
		晶圓宏面檢查	●	●
		晶圓宏面檢查1	●	●
		晶圓宏面檢查2	●	●
	適配顯微鏡		SOPTOP MX68R金相顯微鏡
	載物臺(tái)		?6英寸四層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低位手X Y方向同軸調(diào)節(jié)； ?晶圓承片臺(tái)，可360°旋轉(zhuǎn)； ?移動(dòng)行程228mm（X方向）×170mm（Y方向）觀察范圍；170mm×170mm ?帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng)。	?8英寸四層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低位手X Y方向同軸調(diào)節(jié)； ?晶圓承片臺(tái)，可360°旋轉(zhuǎn)； ?移動(dòng)行程228mm（X方向）×280mm（Y方向）觀察范圍；210mm×210mm ?帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng)。
	電源		1P/220V/16A

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