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6英寸勻膠顯影機(jī) MINI型 ACD6 COATER&DEVELOPER
| 設(shè)備配置 | 1C1D、2C、2D |
| 襯底材質(zhì) | Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiC、LT、LN等 |
| 線寬 | ≥0.35um |
| 適用工藝 | G-line、i-line、PI |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | MEMS、功率器件、射頻集成、光通訊、科研等 |
| 技術(shù)特征 | ?設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積?。鎸拑H1.1m) ； ?功能齊全，具備EBR、BSR、RRC、膠嘴自動(dòng)保濕清洗等功能，可選配更換便捷的針管式膠嘴； ?可做兩種尺寸完全兼容，不需要更換零件； ?可選配光刻膠顯影液溫控, HMDS等單元部件。 |
| 設(shè)備尺寸 | 1180*1450*2040mm（W*D*H） |